电子级 EDI 超纯水设备是一种用于生产高纯度水的设备，主要应用于电子工业等对水质要求极高的领域。以下是其详细介绍：

工作原理

EDI（Electrodeionization）即电去离子技术，它将电渗析技术和离子交换技术融为一体。EDI 装置将离子交换树脂充夹在阴 / 阳离子交换膜之间形成 EDI 单元，在直流电的推动下，通过淡水室水流中的阴阳离子分别穿过阴阳离子交换膜进入到浓水室而在淡水室中去除，从而达到水的深度净化除盐，并通过水电解产生的氢离子和氢氧根离子对装填树脂进行连续再生，无需酸、碱化学药品再生即可连续制取高品质超纯水。

工艺流程

典型的电子级 EDI 超纯水设备工艺流程包括 “预处理 + 反渗透 + 电除盐（EDI）+ 抛光混床 + 终端过滤”。预处理通过多介质过滤器、活性炭过滤器等去除原水中的悬浮物、胶体、余氯等杂质；反渗透系统去除水中 98% 以上的溶解性盐类等；EDI 系统进一步脱盐；抛光混床深度去除残余离子；终端过滤与紫外杀菌系统则确保水质达到电子级用水要求。

主要特点

水质高：能生产出电阻率高达 18.2MΩ・cm 以上的超纯水，几乎不含离子、有机物、颗粒物等杂质，满足电子工业对水质的苛刻要求。

环保节能：无需酸碱再生，减少了化学药剂的使用和废液排放，同时部分设备可实现浓水回收利用，降低水资源浪费和能耗。

连续稳定生产：可连续不间断地供应超纯水，避免了因再生停机造成的生产中断，保障了电子工业连续生产的需求。

自动化程度高：通常配备 PLC 全自动控制系统，能实时监测水质和设备运行状态，实现自动启停、故障报警等功能，降低人工干预。

模块化设计：设备采用模块化结构，便于安装、维护和扩容，可根据不同电子企业的需求灵活调整排水量与水质参数。

应用领域

主要应用于电子工业，如半导体制造中的晶圆清洗、光刻胶去除、化学试剂配制、蚀刻和腐蚀过程等，以及平板显示器生产、光伏电池制备等领域，其产出的超纯水质量直接影响到最终产品的性能和可靠性。